影像測儀比較常見的故障可分為開降傳動故障，工作臺故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、電氣故障、電子故障以及精度故障等。
升降傳動故障:通常情況下會遇到升降有異響、無法上升，下降、下降有墜落感，彈跳、傳動時空回間隙需大、微調不傳動、投影屏框松動等。
工作臺故障:比較容易出現光桿自動空轉、光桿傳動有彈跳、磨擦傳動時不順、工作臺運動有響聲、工作臺運動有卡滯現象等。在解決故障時，需要先找出故障的原因，再對癥下藥。可調整彈簧的螺絲松緊、更換軸承、新上油、加潤滑油、更換光桿、調節或更換光桿支架等方式來解決。
投影屏故障:旋轉有聲響時，可清理端面上的雜質(如銹漬),換新定位軸承等。旋轉時磨擦力大，可松開鎖緊螺絲，或換磨擦轉。旋轉時不均勻時，可換新度盤座、磨擦輪、磨擦輪軸等。投影屏旋轉不計數時，可扭緊角度磨擦機械，埠接好信號線，接好接插等。
投影成像故障:成像模徹、成像有暗區、影像有黑斑、成像對比光線暗等，可以對物鏡、投影屏、工作臺玻璃、聚光鏡、反光鏡等進行清洗。對燈絲進行調節或更換，如果燈泡電源電樂過低，則加裝總電源穩壓器。
影像成像故障:顯示黑屏時可查看電源線是否接好，電源電壓等，插緊顯示器信號線，如有零件損壞則需要更換顯示器或者十字線產生器。當物鏡變倍時十字線與描準點偏移大時，重調鎖鏡筒的螺絲釘，或者換鏡筒。當出現被測工作的某一邊有暗影時，可調節攝像機或者玻璃四個角上的螺絲，擺正工件。
電氣故障:常見故障有燈泡不亮、軸流風機不轉動、易燒燈泡、易燒保險絲、變壓器過熱損壞等。
電子故障:如電箱按鍵失現，可系統總清、換新面膜:如軸不計數，可換滑座或OP板或整個尺、重新接一下樓信號線，換上機板等。如數碼管缺筆劃，則需更換或維修。
精度故障：包括a，x，y軸精度不佳、兩坐標測量精度差、角度示值誤差大、不同平面測量誤差大等。應對此類故障，要注意校正和調整。
日常維護和保養：
（1）開機前的準備
a.影像測量儀對環境要求比較嚴格，應按要求嚴格控制環境溫度(20℃±2℃)及濕度(30～80％)。
b.影像測量儀的導軌精度很高，如果導軌上面有灰塵或其他雜質，就容易造成導軌劃傷。金屬導軌可用航空汽油擦拭（120或180號汽油），花崗石導軌用無水乙醇擦拭。
c.在保養過程中不能給任何導軌上任何性質的油脂。
d.定期給光桿，絲桿或磁條等傳動部件上少量防銹油。
e.長時間未使用影像測量儀，在開機前應做好準備工作：控制室內的溫度和和濕度（24小時以上），檢查電源等部件是否正常。
f.開機前檢查電源，如有條件應配置穩壓電源，定期檢查接地。
（2）測量過程的準備
a.被測工件在放到工作臺上檢測之前，應先清洗去毛刺，防止在加工完成后工件表面殘留的冷卻液及加工殘留物影像測量儀的測量精度及使用壽命。
b.被測工件在測量之前應在室內進行恒溫，如果溫度相差過大會影響測量精度。
c.大型及重型工件在放置到工作臺上的過程中應輕放，以避免造成劇烈碰撞，致使工作臺或工件損傷。
d.小型及輕型工件放到工作臺后，應夾裝牢固后再進行測量，否則會影響測量精度。
e.在工作中移動Z軸時，應注意讓鏡頭在移動過程中遠離工件，以避免碰撞。
（3）測量結束后
a.測量結束后要清潔工作臺面。
b.檢查導軌，防止有雜物，水漬殘留
c.工作結束后將機器總電源等關閉。
